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ETD系列纠偏检测传感器
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ETD系列纠偏检测传感器
测量范围
边缘检测:±3.25mm;直径检测:6mm(
2
)
边缘检测:±6mm;直径检测:12mm(
3
)
光斑宽度
7.0mm(
2
)
13.0mm(
3
)
线性度
±0.12%F.S./20mm;±0.4%F.S./100mm(
5
)
重复精度
1μm/20mm;3μm/100mm;5μm/200mm(
5
)
连接方式
接收端:2m/6芯线;发射端:2m/2芯线(
1
)
接收端:2m/4芯线;发射端:2m/2芯线(
1
)
2m/3芯线(
1
)
M8/4针猪尾式连接器(215cm)(
2
)
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