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ESX10系列高性价比3D轮廓扫描仪
轮廓点数
2048(
6
)
Z轴景深(MR)
300mm(
1
)
16mm(
1
)
160mm(
1
)
60mm(
1
)
4mm(
1
)
40mm(
1
)
X方向分辨率
28.8~47.1μm(
1
)
239.2~415μm(
1
)
14.6~20.1μm(
1
)
124.5~200.1μm(
1
)
51.7~99.7μm(
1
)
7.0~8.6μm(
1
)
Z轴重复精度
0.2μm(
1
)
0.8μm(
1
)
6.0μm(
1
)
0.5μm(
1
)
4.0μm(
1
)
1.0μm(
1
)
Z方向线性度
0.01%(
3
)
0.015%(
1
)
0.012%(
2
)
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