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ESX系列3D轮廓扫描仪
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ESX系列3D轮廓扫描仪
轮廓点数
4096(
5
)
2048(
5
)
1920(
4
)
Z轴景深(MR)
11mm(
1
)
191mm(
1
)
6mm(
1
)
200mm(
1
)
24mm(
2
)
18mm(
1
)
74mm(
2
)
25mm(
1
)
7mm(
3
)
70mm(
1
)
X方向分辨率
27.1~40.0μm(
1
)
6.9~8.4μm(
1
)
7.8~8.9μm(
1
)
51.7~99.7μm(
1
)
5.1~5.9μm(
1
)
54.0~114.2μm(
1
)
14.6~20.1μm(
2
)
11.1~13.6μm(
1
)
28.8~47.1μm(
2
)
7.0~8.6μm(
1
)
13.4~16.4μm(
1
)
5.6~6.3μm(
1
)
Z轴重复精度
0.6μm(
2
)
0.3μm(
2
)
0.1μm(
2
)
0.8μm(
1
)
0.2μm(
3
)
1.0μm(
1
)
1.2μm(
1
)
0.4μm(
2
)
Z方向线性度
±0.02%(
14
)
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