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彩色共焦位移传感器
ACC系列彩色共焦传感器-测头
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ACC系列彩色共焦传感器-测头
基准距离
40mm(
1
)
33mm(
1
)
30mm(
1
)
55mm(
1
)
8mm(
1
)
18mm(
1
)
11mm(
1
)
16mm(
1
)
测量范围
±3.0mm(
1
)
±0.2mm(
1
)
±1.2mm(
1
)
±1.0mm(
2
)
±4.0mm(
1
)
±2.0mm(
2
)
光斑直径
8.0μm(
1
)
40.0μm(
2
)
9.0μm(
1
)
45.0μm(
1
)
2.0μm(
1
)
25.0μm(
1
)
16.0μm(
1
)
分辨率
0.07μm(
1
)
0.10μm(
1
)
0.02μm(
1
)
0.05μm(
3
)
0.12μm(
1
)
0.2μm(
1
)
线性度
±0.30μm(
1
)
±0.15μm(
1
)
±0.65μm(
1
)
±0.45μm(
2
)
±0.35μm(
1
)
±0.50μm(
1
)
±2μm(
1
)
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