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彩色共焦位移传感器
ACC10系列高性价比彩色共焦传感器-测头
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ACC10系列高性价比彩色共焦传感器-测头
基准距离
24.2mm(
1
)
21.3mm(
1
)
45mm(
1
)
33mm(
1
)
20.5mm(
1
)
46.5mm(
1
)
35mm(
1
)
30mm(
1
)
31.1mm(
1
)
8mm(
1
)
15.8mm(
1
)
16.43mm(
1
)
24.8mm(
1
)
测量范围
±0.63mm(
1
)
±0.625mm(
1
)
±0.6mm(
1
)
±1.26mm(
1
)
±1.2mm(
1
)
±0.75mm(
1
)
±2.0mm(
1
)
±2.3mm(
1
)
±1.15mm(
1
)
±3.0mm(
1
)
±4.0mm(
1
)
±1.5mm(
2
)
光斑直径
13.0μm(
2
)
20.0μm(
2
)
25.0μm(
2
)
40.0μm(
4
)
17.0μm(
1
)
10.0μm(
2
)
分辨率
20nm(
1
)
5nm(
1
)
3nm(
3
)
12nm(
1
)
40nm(
1
)
10nm(
1
)
4nm(
1
)
6nm(
4
)
线性度
±0.6μm(
1
)
±3μm(
1
)
±2μm(
1
)
±1.2μm(
1
)
±0.75μm(
1
)
±0.32μm(
2
)
±0.3μm(
1
)
±0.64μm(
1
)
±0.62μm(
1
)
±1.5μm(
1
)
±0.38μm(
1
)
±1μm(
1
)
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